Generator čiste pare je oprema koja koristi vodu za ubrizgavanje ili pročišćenu vodu za proizvodnju čiste pare. Glavni dio je rezervoar za vodu za pročišćavanje nivoa. Rezervoar zagrijava dejoniziranu vodu parom iz kotla kako bi se stvorila para visoke čistoće. Predgrijač i isparivač spremnika imaju intenzivnu bešavnu cijev od nehrđajućeg čelika. Osim toga, para visoke čistoće s različitim protupritiscima i brzinama protoka može se dobiti podešavanjem izlaznog ventila. Generator je primenljiv za sterilizaciju i može efikasno sprečiti sekundarno zagađenje koje je posledica teških metala, izvora toplote i drugih gomila nečistoća.